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科普:等离子蚀刻机(干刻)与等离子洗濯机是

2020-03-13 11:12

  说起Dry Etch(以下简称DE,1974年等离子蚀刻机1974年等离子蚀刻机又称干刻)这个制程,咱们先来看看刻蚀是啥玩意:

  诈欺等离子电浆去除未被PR遮盖的薄膜,1974年等离子蚀刻机这个叫干刻,顾名思义,这个制程是没有液体到场的。

  等离子洗刷机Plasma Cleaner)也叫等离子外外解决仪,是一种全新的高科技技艺,诈欺等离子体到达旧例洗刷法子无法到达的成果。

  等离子洗刷属于干法洗刷,采用气相化学法去除原料外外污染物。气相化学法闭键有热氧化法和等离子洗刷法等,洗刷进程即是将热化学气体或等离子态反映气体导入反映室,反映气体与晶片外外发作化学反映天生易挥发性反映产品被真空抽去。

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